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半导体超纯水设备:DI水(超纯水)的测试标准

来源:无锡纯水设备??????2021/11/10 11:58:29??????点击:

【无锡水处理设备】对于DI水的测试,需要精密的仪器和受控制的环境,如需要达到一定级别的无尘环境,专门的实验室等。不过大多数公司不可能投资巨额的资金去做该测试,将DI水送到有资格的外部实验室进行测试是一个可以考虑的做法。下面的内容就DI水的常用测试项目和方法做简单的介绍:

1、电阻率测试(Resistivity test )

该测试要求DI水需要处于温度在25摄氏度状况下,多数情况下工厂可以在线监控该项测试,即可以在DI水的出水端安装一个电阻测试仪器,可以随时记录数据的变化。除了在线监控外,也可以送到实验中心进行测试。测试结果的判定可以根据产品的要求而定。如在电脑的磁头工厂,DI水是直接用来清洗产品的,所以要求非常高,一般要求在15---18MΩ?cm之间。测试方法是根据美国材料实验协会的标准(ASTM)。

2、蒸发后残留物测试(Residue after evaporation test

该测试是监控DI水残留物含量的测试,结果评估是看每升水中有多少ug残留物(ug/L),其依据是根据ASTM D5462 /F1094进行控制。

3、细菌测试(Bacteria test

该测试监控DI水中微生物的含量,表面上我们看到的是一杯非常透明的干净的水,其实在水里面有很多微生物的存在,相对来说,DI水中的微生物会比我们饮用的自来水中少很多,因为DI水的生产流程经过了多次过滤、消毒、紫外线杀菌等等过程。做该测试会耗时较长,具体做法是使用培养皿对DI水进行细菌培植,到一定的时数后再使用放大镜看DI水中有多少细菌生长出来。因为细菌需要养料才能生长,该测试就是根据该原理来测试细菌的数量。其判定结果是观测在100ml水中有多少个细菌,需要观测出不同大小的数量。

4、液态尘粒测试(LPC test

该测试是监控DI水中一定粒径下粒子的含量,一般控制每毫升中离子的个数(个/ml)。该测试是DI水非常重要的一个测试,也是监控DI水的必测项目。在污染控制领域,一般对0.5um粒径的粒子的个数进行严格控制,如在电脑磁头行业的公司,一般标准控制在1000/ml。不过到底定什么样的标准,可以根据产品特性来对DI水的LPC做出限制,一般实验可以测试小到0.1um 350um的粒径。该测试方法是根据ASTM D4327/5542条款尽心操作。

5、硅油总量测试(Total Silica test

在多数的高科技产品生产中,对硅油是必须作出严格控制的,因为硅材料的分子特性可以对产品造成污染从而最终损坏该产品,所以该项测试是也是DI水非常重要的测试之一。测试结果一般是以每升水中含有多少微克的硅做为判定标准(ug/L)。该测试方法依据ASTM D5673D3919进行测试。对于测试结果的理解,需要特别作出说明,如果测试结果显示没有硅油,这并不是表示DI水中不存在硅油,而是测试结果没有超出测试标准中的敏感线(值)。

6、离子测试(Ionic content

该测试也是DI水非常重要的测试之一,主要监控DI水中各种阴阳离子的含量,测试结果一般用总量不超过多少微克来判定(ug/ml)。比较常见的离子有:氯离子、铁离子、钠离子、硝酸根离子、硫酸根离子、钙离子等。

 7、金属离子测试(Metal content test

该测试主要监控DI水中的金属离子的含量,测试结果一般用般用总量不超过多少微克来判定(ug/ml)。比较常见的离子有:钾离子、铁离子、钠离子、镁粒子、钙离子等等。监控金属离子是用来评估水的硬度是否合适。

8、溶解氧测试(Dissolved Oxygen

该测试主要是监控DI水中活性氧的含量,因为水中含氧量过高,会加速其它物质的氧化反应从而影响到终端产品。其结果评估一般看每升水中含有多少微克的活性氧(ug/l)?梢圆慰ASTMD5391进行控制和测试。

综上所述,我们对DI水进行各种不同类型的测试,其最终目的是为了终端产品的要求,根据不同产品类型可以有不同的测试项目和要求,以上几个方面的测试是最常用的几种测试方法。其它的如毒素测试(Endotoxin test),可溶解硅的测试(Dissolved silica test),总有机碳测试(TOC)等也时有用到。,, ,无锡水处理设备无锡去离子水设备, 。